তেলগুলির মতো দূষকগুলি অপসারণের জন্য উপাদানটির পৃষ্ঠটি পুরোপুরি পরিষ্কার এবং প্রিট্রেটেড, ধুলো, এবং অক্সাইড. দৃ strong ় আঠালো এবং অভিন্ন লেপ বেধ নিশ্চিত করার জন্য যথাযথ পৃষ্ঠের প্রস্তুতি অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ.

পরিষ্কার অংশগুলি একটি ভ্যাকুয়াম চেম্বারে লোড করা হয়, যা তখন সিল করা হয় এবং একটি নিম্নচাপের পরিবেশ তৈরি করতে সরিয়ে নেওয়া হয়. উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিস্থিতি অর্জন দূষণকে হ্রাস করে এবং জবানবন্দির উপর সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণের অনুমতি দেয়.

লেপ উপাদান (প্রায়শই একটি ধাতব বা সিরামিক লক্ষ্য) বেশ কয়েকটি পদ্ধতির একটি ব্যবহার করে বাষ্পীভূত হয় - যেমন স্পটারিং, আর্ক বাষ্পীভবন, বা বৈদ্যুতিন মরীচি বাষ্পীভবন. তরল রাষ্ট্রের মধ্য দিয়ে না গিয়ে উপাদান থেকে বাষ্প পর্যায়ে উপাদানগুলি রূপান্তর.

বাষ্পীভূত পরমাণু বা আয়নগুলি ভ্যাকুয়াম দিয়ে ভ্রমণ করে এবং স্তরটির দিকে পরিচালিত হয়. এই পরিবহনটি চৌম্বকীয় ক্ষেত্রগুলি বা বৈদ্যুতিক সম্ভাবনার দ্বারা প্রভাবিত হতে পারে ডিপোজিশন ইউনিফর্মিটি এবং ঘনত্ব নিয়ন্ত্রণ করতে.

বাষ্পীভূত উপাদান ঘনীভূত হয় এবং একটি পাতলা গঠন করে, ঘন, এবং সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠের অনুগত ফিল্ম. প্রক্রিয়া পরামিতি - যেমন তাপমাত্রা, চাপ, এবং ডিপোজিশন রেট - পছন্দসই ফিল্মের বৈশিষ্ট্যগুলি অর্জনের জন্য সাবধানতার সাথে নিয়ন্ত্রিত, বেধ সহ, কঠোরতা, এবং রূপচর্চা.