Komponentens overflade rengøres og forbehandles grundigt for at fjerne forurenende stoffer, såsom olier, støv, og oxider. Korrekt overfladeforberedelse er afgørende for at sikre stærk vedhæftning og ensartet belægningstykkelse.

Rensede dele indlæses i et vakuumkammer, som derefter forsegles og evakueres for at skabe et lavtryksmiljø. Opnåelse af høje vakuumbetingelser minimerer kontaminering og giver mulighed for præcis kontrol over afsætningen.

Belægningsmaterialet (Ofte et metal- eller keramisk mål) fordampes ved hjælp af en af ​​flere metoder - såsom sputtering, Buefordampning, eller elektronstrålefordampning. Materialet overgår fra fast stof til dampfase uden at passere gennem en flydende tilstand.

Damporiserede atomer eller ioner rejser gennem vakuumet og er rettet mod underlaget. Denne transport kan påvirkes af magnetiske felter eller elektriske potentialer til at kontrollere afsætning ensartethed og densitet.

Det fordampede materiale kondenseres og danner en tynd, tæt, og vedhæftende film på substratoverfladen. Procesparametre - såsom temperatur, tryk, og afsætningshastighed - er omhyggeligt reguleret for at opnå ønskede filmegenskaber, inklusive tykkelse, hårdhed, og morfologi.