A superfície do componente é completamente limpa e pré -tratada para remover contaminantes, como óleos, pó, e óxidos. A preparação adequada da superfície é crucial para garantir forte adesão e espessura uniforme do revestimento.

Peças limpas são carregadas em uma câmara de vácuo, que é então selado e evacuado para criar um ambiente de baixa pressão. A obtenção de condições de alto vácuo minimiza a contaminação e permite controle preciso sobre a deposição.

O material de revestimento (frequentemente um alvo de metal ou cerâmica) é vaporizado usando um dos vários métodos - como a pulverização, evaporação de arco, ou evaporação do feixe de elétrons. O material transita da fase sólida para o vapor sem passar por um estado líquido.

Átomos vaporizados ou íons viajam pelo vácuo e são direcionados para o substrato. Este transporte pode ser influenciado por campos magnéticos ou potenciais elétricos para controlar a uniformidade e a densidade da deposição.

O material vaporizado condensa e forma um fino, denso, e filme aderente na superfície do substrato. Os parâmetros do processo - como temperatura, pressão, e taxa de deposição - é cuidadosamente regulamentada para alcançar as características desejadas do filme, incluindo espessura, dureza, e morfologia.