يتم تنظيف سطح المكون جيدًا واعتماده لإزالة الملوثات مثل الزيوت, تراب, والأكاسيد. يعد إعداد السطح السليم أمرًا ضروريًا لضمان التصاق قوي وسمك الطلاء الموحد.

يتم تحميل الأجزاء التي تم تنظيفها في غرفة فراغ, الذي يتم إغلاقه ثم إخلاءه لإنشاء بيئة منخفضة الضغط. يؤدي تحقيق ظروف فراغ عالية إلى تقليل التلوث ويسمح بالتحكم الدقيق في الترسب.

مادة الطلاء (غالبًا ما يكون هدف المعدن أو السيراميك) يتم تبخيره باستخدام واحدة من عدة طرق - مثل الثرثرة, تبخر قوس, أو تبخر شعاع الإلكترون. تحولات المواد من مرحلة الصلبة إلى البخار دون المرور عبر حالة سائلة.

تسافر الذرات أو الأيونات المتبخرتين عبر الفراغ وتوجه نحو الركيزة. يمكن أن يتأثر هذا النقل بالحقول المغناطيسية أو الإمكانات الكهربائية للتحكم في توحيد الترسيب وكثافة.

تتكثف المادة المتبخر وتشكل رقيقة, كثيفة, والفيلم الملتصق على سطح الركيزة. معلمات العملية - مثل درجة حرارة, ضغط, ومعدل الترسيب - يتم تنظيمه بعناية لتحقيق خصائص الفيلم المطلوب, بما في ذلك سمك, صلابة, والمورفولوجيا.