Komponento paviršius yra kruopščiai išvalytas ir iš anksto apdorojamas, kad būtų pašalinti teršalai, tokie kaip aliejai, dulkės, ir oksidai. Tinkamas paviršiaus paruošimas yra labai svarbus norint užtikrinti stiprų sukibimą ir vienodą dangos storią.

Išvalytos dalys įkeliamos į vakuuminę kamerą, kuris tada uždaromas ir evakuotas, kad būtų sukurta žemo slėgio aplinka. Aukšto vakuumo sąlygų pasiekimas sumažina užteršimą ir leidžia tiksliai valdyti nusėdimą.

Dangos medžiaga (dažnai metalo ar keramikos taikinys) yra išgaruojamas naudojant vieną iš kelių būdų, tokių kaip purškimas, ARC išgarinimas, arba elektronų pluošto išgarinimas. Medžiagos pereina iš kietos į garų fazę, neišnykę per skystą būseną.

Garinti atomai ar jonai keliauja per vakuumą ir yra nukreipti į substratą. Šiam transportavimui gali turėti įtakos magnetiniai laukai arba elektrinis potencialas, kad būtų galima kontroliuoti nusėdimo vienodumą ir tankį.

Garinta medžiaga kondensuoja ir sudaro ploną, tankus, ir priklijuota plėvelė ant substrato paviršiaus. Proceso parametrai, pavyzdžiui, temperatūra, spaudimas, ir nusėdimo greitis - kruopščiai reguliuojami, kad būtų norimos plėvelės charakteristikos, įskaitant storią, kietumas, ir morfologija.